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半導(dǎo)體有機(jī)廢氣怎么處理？半導(dǎo)體廢氣治理有哪些好辦法？

2022/5/23 9:43:29　/　作者：廢氣處理設(shè)備公司　/　來源：山藝環(huán)保

半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分，在工藝過程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時(shí)廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物。半導(dǎo)體有機(jī)廢氣怎么處理？半導(dǎo)體廢氣治理有哪些好辦法？下面為您做簡(jiǎn)單介紹：

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣怎么處理？半導(dǎo)體廢氣治理有哪些好辦法？

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理辦法

采用RTO設(shè)備處理

RTO蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水，凈化廢氣，并回收廢氣分解時(shí)所釋放出來的熱量，廢氣分解效率達(dá)到99%以上，熱回收效率達(dá)到95%以上。

直接燃燒法處理

有機(jī)廢氣風(fēng)管廢氣收集→沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮→直燃爐（TO）→煙囪排氣達(dá)標(biāo)排放。

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